水洗塔及废气处理系统
基本信息
| 申请号 | CN202122340767.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216062606U | 公开（公告）日 | 2022-03-18 |
| 申请公布号 | CN216062606U | 申请公布日 | 2022-03-18 |
| 分类号 | B01D50/60（2022.01）I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 李阳;杨春水;薛山;张坤;王松;黄一桐;章文军;王继飞;丁树园;宁腾飞;席涛涛;杨春涛;蔡传涛;闫潇 | 申请（专利权）人 | 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李文丽 |
| 地址 | 100176北京市大兴区北京经济技术开发区凉水河二街8号院14楼A座 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及半导体生产技术领域，尤其涉及一种水洗塔及废气处理系统，水洗塔包括塔体、水雾器和过滤器，水雾器包括环管、供气部件和供水部件，环管的管壁上设有多个喷雾孔，供气部件和供水部件均与环管的内部连通，环管与过滤器沿塔体的进口至出口方向依次设置于塔体内部，环管在塔体的横截面上布设。水洗塔的内部增加水雾器和过滤器作为降尘清洁部件，可对燃烧处理后的粉末进行水洗清洁和降尘，增大粉尘处理效率，进一步提高水洗塔对废气燃烧处理后所产生粉末的洗涤效果，防止塔体的出口的堵塞，避免排气负压侦测异常和厂务酸排气堵塞，保证排气负压正常，提高机台运行的稳定性。 |
