制冷系统
基本信息
| 申请号 | CN202010888834.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112082291B | 公开（公告）日 | 2022-03-18 |
| 申请公布号 | CN112082291B | 申请公布日 | 2022-03-18 |
| 分类号 | F25B41/20（2021.01）I;F25B41/40（2021.01）I | 分类 | 制冷或冷却；加热和制冷的联合系统；热泵系统；冰的制造或储存；气体的液化或固化; |
| 发明人 | 冯涛;芮守祯;靳李富;李文博;耿海东;吕志伟;宋朝阳;何茂栋;曹小康;董春辉 | 申请（专利权）人 | 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人 | 韩世虹 |
| 地址 | 100176北京市大兴区经济技术开发区凉水河二街8号院14楼A座3层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及制冷系统，包括压缩制冷回路、冷却水制冷回路、循环液回路和换热器，换热器的放热通路与循环液回路连通，换热器的第一吸热通路与压缩制冷回路连通，换热器的第二吸热通路与冷却水制冷回路连通。根据不同温度工况，运行不同制冷模式，低温工况下可以选择压缩制冷模式，高温工况下3种模式都可以选择，降低高温工况的系统能耗。 |
