废气处理系统
基本信息
| 申请号 | CN202111321232.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114210197A | 公开（公告）日 | 2022-03-22 |
| 申请公布号 | CN114210197A | 申请公布日 | 2022-03-22 |
| 分类号 | B01D53/86（2006.01）I;B01D53/56（2006.01）I;B01D53/90（2006.01）I;F23G7/06（2006.01）I;F23J15/06（2006.01）I;B08B5/02（2006.01）I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 杨春涛;杨春水;张坤;蔡传涛;席涛涛;宁腾飞;王继飞;闫潇;章文军;陈彦岗;李阳 | 申请（专利权）人 | 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人 | 邢大鑫 |
| 地址 | 100176北京市大兴区北京经济技术开发区凉水河二街8号院14楼A座 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供涉及半导体生产技术领域，尤其涉及一种废气处理系统，包括反应装置和氮氧化物处理装置，氮氧化物处理装置包括第一反应腔和催化组件，催化组件设置于第一反应腔内，反应装置包括第二反应腔、降温腔和降温喷头，降温喷头设置于降温腔内，第二反应腔的出口与第一反应腔的进口通过降温腔连通。利用第二反应腔排出的高温气体，通过控制降温喷头的工作，可以控制气体在催化反应时所需要的温度，节约了催化反应需要再次升温的能量消耗。还可根据不同的催化剂，通过降温腔将带有氮氧化物的气体调整至不同的温度，满足不同催化剂进行催化反应时所需的温度。 |
