废气处理装置的控制方法及废气处理装置
基本信息
| 申请号 | CN202111454387.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114216130A | 公开（公告）日 | 2022-03-22 |
| 申请公布号 | CN114216130A | 申请公布日 | 2022-03-22 |
| 分类号 | F23G7/06（2006.01）I;F23G5/50（2006.01）I | 分类 | 燃烧设备；燃烧方法; |
| 发明人 | 张坤;杨春水;杨春涛;宁腾飞 | 申请（专利权）人 | 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人 | 周琦 |
| 地址 | 100176北京市大兴区北京经济技术开发区凉水河二街8号院14楼A座 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种废气处理装置的控制方法及废气处理装置，废气处理装置的控制方法包括：获取通入反应腔的废气类型；根据废气类型获取设定温度；根据设定温度调节反应腔的加热温度。本发明根据不同类型废气处理所需要的反应温度不同，传送不同的信号至废气处理装置，控制反应腔的加热温度的高低，即控制为反应腔提供加热温度的燃料CH4，CDA，O2等能源用量，实现能源利用的最大化，减少能源浪费，以此实现对能源用量进行控制保证节能。 |
