恒温装置以及MOCVD设备
基本信息
| 申请号 | CN202020018323.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211170886U | 公开（公告）日 | 2020-08-04 |
| 申请公布号 | CN211170886U | 申请公布日 | 2020-08-04 |
| 分类号 | C23C16/46(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 杨彬斌;蔡武;黄小辉;陈向东;杨东;康建 | 申请（专利权）人 | 圆融光电科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 | 代理人 | 圆融光电科技股份有限公司 |
| 地址 | 243000安徽省马鞍山市经济技术开发区宝庆路399号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种恒温装置以及MOCVD设备，其中，一种恒温装置包括至少两个槽体，至少一个所述槽体内设置有恒温组件，所述恒温组件用于保持所述槽体内的液体的温度恒定，两个所述槽体之间连通有两个导流管，两个所述导流管分别与两个水泵连接，两个所述水泵用于驱动两个所述导流管内的液体向相反方向流动，以使得两个所述槽体内的液体循环流动。本实用新型提供一种恒温装置以及MOCVD设备，耗能低，有利于降低恒温装置的成本，提高生产利润。 |
