一种生产质量检测用硅棒的设备
基本信息
| 申请号 | CN202023343665.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214192591U | 公开（公告）日 | 2021-09-14 |
| 申请公布号 | CN214192591U | 申请公布日 | 2021-09-14 |
| 分类号 | C01B33/035（2006.01）I;G01N33/00（2006.01）I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 李坤;杨涛;赵云松;陈文吉;裴雅晨 | 申请（专利权）人 | 新疆大全新能源股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京鼎佳达知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 孟阿妮;张小勇 |
| 地址 | 832000新疆维吾尔自治区石河子市经济开发区化工新材料产业园纬六路16号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及多晶硅生产技术领域，尤其涉及一种生产质量检测用硅棒的设备，其包括:汽化器、汇流切换控制系统和反应器；汽化器上具有物料通道一、物料通道二和物料通道三；物料通道一分别与置换氮气管道、新鲜三氯氢硅管道、回收三氯氢硅管道连通；物料通道二与置换氮气管道连通；物料通道三分别与新鲜氢气管道和回收氢气管道连通；汇流切换控制系统包括：控制阀、压力表和控制器；控制阀和压力表分别设置在多个新鲜三氯氢硅管道、回收三氯氢硅管道、新鲜氢气管道、回收氢气管道和置换氮气管道上；控制器分别与控制阀和压力表连接；反应器与汽化器连通。采用本实用新型能够缩短生产检测用硅棒的周期，提升来料物料质量的评估效率。 |
