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一种弹性晶片的制造方法

基本信息

申请号 CN202011526691.0 申请日 -
公开（公告）号 CN112626616A 公开（公告）日 2021-04-09
申请公布号 CN112626616A 申请公布日 2021-04-09
分类号 C30B29/06(2006.01)I;C30B15/00(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 徐百 申请（专利权）人 苏州纳通生物纳米技术有限公司
代理机构 苏州铭浩知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 张一鸣
地址 215000江苏省苏州市工业园区星湖街218号生物纳米园C8楼201室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种弹性晶片的制造方法，包括：单晶硅的制备、纳米微加工；所述单晶硅的制备包括：S1清洁处理、S2装炉、S3熔化、S4引晶、S5缩径、S6放肩、S7等径生长、S8收尾；所述S1清洁处理：将炉体、籽晶、硅多晶、掺杂剂、石英坩埚进行清洁处理；所述S2装炉：将多晶硅和掺杂剂置入单晶炉内的石英坩埚中；所述S3熔化：当装炉结束关闭单晶炉门后，抽真空使单晶炉内保持在一定的压力范围内，驱动石墨加热系统的电源；本发明通过对弹性晶片的制造方法的改进，具有设计合理，易于实现、便于加工生产，制得晶片安全、无痛、无创、便于使用，促进吸收，提高护理效果的优点，从而有效的解决了本发明提出的问题和不足。