高纯度渗铝炉
基本信息
申请号 | CN201310278804.3 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN103352199B | 公开(公告)日 | 2015-06-03 |
申请公布号 | CN103352199B | 申请公布日 | 2015-06-03 |
分类号 | C23C10/00(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
发明人 | 吴光治 | 申请(专利权)人 | 南京摄炉(集团)有限公司 |
代理机构 | 江苏圣典律师事务所 | 代理人 | 孙忠浩 |
地址 | 210033 江苏省南京市栖霞区石埠桥工业园河东里88号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明涉及一种高纯度渗铝炉,包括工业电炉体,其特征在于,工业电炉体的炉腔内设有不锈钢炉胆,惰性气体输入管和热电偶由炉胆口进入不锈钢炉胆,炉胆口的飞沿置于电炉口上,通过螺杆和压板与工业电炉体固定连接,炉胆口设有匹配的耐温密封塞,抽真空管穿越耐温密封塞与炉胆内部沟通,抽真空管和惰性气体输入管上配有电磁阀;位于耐温密封塞外露部分的抽真空管上配有散热管,由耐温密封塞密封的不锈钢炉胆能够承受-0.1Mpa~0.25Mpa变化的压强。 |
