一种用于磁性材料镀膜的多元系重稀土金属靶材
基本信息
申请号 | CN201910252605.2 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN111748783A | 公开(公告)日 | 2020-10-09 |
申请公布号 | CN111748783A | 申请公布日 | 2020-10-09 |
分类号 | C23C14/35(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
发明人 | 李启炎;邹光荣 | 申请(专利权)人 | 浙江云度新材料科技有限公司 |
代理机构 | 杭州永绎专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 浙江云度新材料科技有限公司 |
地址 | 315100浙江省宁波市鄞州区潘火街道宁创科技中心1号2806室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提出了用于磁性材料镀膜的多元系重稀土金属靶材,其特征包括重稀土元素、铁族过滤元素、元素Cu及微量杂质;所述的重稀土元素Tb或Dy或Ho中的一种或一种以上的组合,所述的铁族过渡元素为Fe、Co、Ni。本发明的合金靶材熔点降低,可以降低后续扩散温度到850摄氏度左右,兼顾了磁体毛坯一级时效,使晶界相更加连续和平直,起到去磁交换耦合作用,同时,低熔点液相还能够消除主相和晶界相边界处的缺陷,提高局域磁晶各向异性,本发明的合金电极电位高,防腐蚀能力强。 |
