一种弧源箱体与溅射箱体的密封装置
基本信息
| 申请号 | CN202120381255.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214271024U | 公开（公告）日 | 2021-09-24 |
| 申请公布号 | CN214271024U | 申请公布日 | 2021-09-24 |
| 分类号 | C23C14/32（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I;C23C14/56（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 冷长志;李启炎 | 申请（专利权）人 | 浙江云度新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 杭州永绎专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 胡英超 |
| 地址 | 315100浙江省宁波市鄞州区投资创业中心金谷中路（东）288号G楼第一层西首 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种弧源箱体与溅射箱体的密封装置，包括箱体，设置在箱体上的出料口，还包括安装在箱体上的固定架和支撑架，安装在固定架上的旋转气缸，安装在支撑架上的旋转轴，以及安装在旋转轴上的密封组件，旋转气缸上设置有输出轴，输出轴上安装有联轴器，联轴器另一端与旋转轴连接，本实用新型通过旋转气缸带动旋转轴转动，从而带动安装在旋转轴上的密封组件转动，实现密封组件和箱体的打开和密封，无需人工手动对箱体进行密封，有效的增加箱体的密封工作效率，同时采用旋转气缸实现装置的自动密封，不会出现因人工疏忽导致密封不完全的情况。 |
