一种磁控溅射生产线用往复式供料装置及供料方法
基本信息
| 申请号 | CN202110295304.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112897034A | 公开（公告）日 | 2021-06-04 |
| 申请公布号 | CN112897034A | 申请公布日 | 2021-06-04 |
| 分类号 | B65G47/82;B65G47/74;B65G47/248;C23C14/35;C23C14/56 | 分类 | 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料; |
| 发明人 | 冷长志;李启炎 | 申请（专利权）人 | 浙江云度新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 杭州永绎专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 胡英超 |
| 地址 | 315100 浙江省宁波市鄞州区投资创业中心金谷中路（东）288号G楼第一层西首 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种磁控溅射生产线用往复式供料装置及供料方法，包括磁控溅射设备；其特征是还包括安装在磁控溅射设备两侧的供料装置和往复装置；所述供料装置包含自动翻转机构以及处于磁控溅射设备两侧的输送机构；所述自动翻转机构上还安装有推料机构。该发明通过供料装置以及往复装置的设置，通过输送机构对磁材进行自动输入输出，通过自动翻转机构对磁材进行自动翻转，通过升降机构对磁材固定板以及磁材上下转运，通过往复输送机构对磁材固定板以及磁材进行往复转运，自动化程度高，效率高，劳动强度低，节省人工劳动力且产品镀膜质量高。 |
