模具及其形成方法、图像传输结构的形成方法

基本信息

申请号 CN201610192240.5 申请日 -
公开(公告)号 CN107283691A 公开(公告)日 2017-10-24
申请公布号 CN107283691A 申请公布日 2017-10-24
分类号 B29C33/38(2006.01)I;H01L27/146(2006.01)I 分类 塑料的加工;一般处于塑性状态物质的加工;
发明人 朱虹;房伟;林崴平;凌严 申请(专利权)人 上海瑞艾立微电子科技有限公司
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 吴敏
地址 201203 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区龙东大道3000号5幢202-02室
法律状态 -

摘要

摘要 一种模具及其形成方法、图像传输结构的形成方法,所述模具的形成方法,包括:提供基底;在所述基底表面形成具有开口的掩膜层;沿所述开口刻蚀基底,在基底内形成凹槽,所述凹槽底部与侧壁的连接处呈圆弧状;形成覆盖所述凹槽内部表面以及掩膜层的疏水性膜。上述方法形成的模具能够用于形成较小尺寸的透镜。