模具及其形成方法、图像传输结构的形成方法
基本信息
申请号 | CN201610192240.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN107283691A | 公开(公告)日 | 2017-10-24 |
申请公布号 | CN107283691A | 申请公布日 | 2017-10-24 |
分类号 | B29C33/38(2006.01)I;H01L27/146(2006.01)I | 分类 | 塑料的加工;一般处于塑性状态物质的加工; |
发明人 | 朱虹;房伟;林崴平;凌严 | 申请(专利权)人 | 上海瑞艾立微电子科技有限公司 |
代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 吴敏 |
地址 | 201203 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区龙东大道3000号5幢202-02室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 一种模具及其形成方法、图像传输结构的形成方法,所述模具的形成方法,包括:提供基底;在所述基底表面形成具有开口的掩膜层;沿所述开口刻蚀基底,在基底内形成凹槽,所述凹槽底部与侧壁的连接处呈圆弧状;形成覆盖所述凹槽内部表面以及掩膜层的疏水性膜。上述方法形成的模具能够用于形成较小尺寸的透镜。 |
