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原子层沉积系统

基本信息

申请号 CN201830204173.4 申请日 -
公开（公告）号 CN304993848S 公开（公告）日 2019-01-11
申请公布号 CN304993848S 申请公布日 2019-01-11
分类号 - 分类 -
发明人 郑文岸;张光海;李哲峰 申请（专利权）人 深圳市原速科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 518000 广东省深圳市宝安区新安街道兴东社区优创空间1号楼511-513
法律状态 -

摘要

摘要 1．本外观设计产品的名称：原子层沉积系统。2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于原子层薄膜沉积。3．本外观设计产品的设计要点：产品的形状。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图。