一种用于硅芯炉的双料盘取放料装置
基本信息
申请号 | CN202022290609.0 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN213896062U | 公开(公告)日 | 2021-08-06 |
申请公布号 | CN213896062U | 申请公布日 | 2021-08-06 |
分类号 | C30B15/00(2006.01)I;C30B15/32(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 刘朝轩 | 申请(专利权)人 | 洛阳市自动化研究所有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 471000河南省洛阳市高新开发区丰华路6号银昆科技园1号楼四层D10 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 一种用于硅芯炉的双料盘取放料装置,涉及人工晶体制备技术领域,本实用新型通过在籽晶夹头提拉机构(12)的两侧分别设置料盘(7),在两料盘上分别设置取料工位(2)和放料工位(8),实现了在不增大上炉室(6)直径的前提下拉制更多组硅芯的目的,即节约了硅芯炉的制造成本,又降低了硅芯炉的使用成本,同时还提高了机械手抓取籽晶夹头的准确度等,本实用新型具有结构简单,操作方便等特点,适合大范围的推广和应用。 |
