一种用于摇摆炉的炉室
基本信息
申请号 | CN202210084146.3 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN114438598A | 公开(公告)日 | 2022-05-06 |
申请公布号 | CN114438598A | 申请公布日 | 2022-05-06 |
分类号 | C30B29/46(2006.01)I;C30B11/00(2006.01)I;H01L35/34(2006.01)I;H01L35/16(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 刘朝轩;邵玮;戚振华 | 申请(专利权)人 | 洛阳市自动化研究所有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 471000河南省洛阳市高新开发区丰华路6号银昆科技园1号楼四层D10 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 一种用于摇摆炉的炉室,涉及人工晶体制备领域,本发明通过在炉室主体(1)内设置复数个石英管放置工位,然后通过在石英管(7)的两端放置高温棉(11)使石英管牢牢的固定在石英管放置工位上,在一次同时设置多根石英管放置工位的同时还有效的避免了石英管在摇摆的过程中发生破碎的风险,有效的提高了生产效率,降低了生产成本等,本发明具有结构简便,使用效果好等特点,适合大范围的推广和应用。 |
