一种用于拉制人工晶体的籽晶夹头
基本信息
申请号 | CN202210200557.4 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN114457420A | 公开(公告)日 | 2022-05-10 |
申请公布号 | CN114457420A | 申请公布日 | 2022-05-10 |
分类号 | C30B28/10(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I;C01B33/035(2006.01)N | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 刘朝轩 | 申请(专利权)人 | 洛阳市自动化研究所有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 471000河南省洛阳市高新开发区丰华路6号银昆科技园1号楼四层D10 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 一种用于拉制人工晶体的籽晶夹头,涉及人工晶体领域,本发明通过在连接盘(10)内设置复数个旋转轴穿孔(9),复数个旋转轴穿孔为中间设置一个,其余旋转轴穿孔分多组呈放射状设置在中间旋转轴穿孔的外围,这样可以实现更多根硅芯的同时拉制,然后在每个旋转轴穿孔内分别设置可以旋转的旋转轴(7),复数个旋转轴通过旋转轮连通,由旋转轴带动夹持件(11)旋转,在拉制硅芯的过程中,旋转的夹持件带动籽晶旋转,通过籽晶旋转修正由于高频线圈拉制孔内或坩埚内温度不一致导致硅芯椭圆的技术缺陷,进而达到修正硅芯椭圆度的目的,本发明具有结构简便,使用效果好等特点。 |
