一种可调整型压爪结构和夹具
基本信息
| 申请号 | CN202021558319.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212750850U | 公开（公告）日 | 2021-03-19 |
| 申请公布号 | CN212750850U | 申请公布日 | 2021-03-19 |
| 分类号 | H01L21/687(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 刘聪聪 | 申请（专利权）人 | 深圳新益昌开玖自动化设备有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市世联合知识产权代理有限公司 | 代理人 | 汪琳琳 |
| 地址 | 518000广东省深圳市南山区西丽街道阳光社区沙坑路伟豪工业园3栋厂房401 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请实施例属于半导体加工设备技术领域，涉及一种可调整型压爪结构和夹具。本申请提供的技术方案包括安装板、压爪座及压爪；所述压爪座设于所述安装板上，所述压爪设于所述压爪座上并能够沿竖直方向产生形变，以改变所述压爪在竖直方向的位置。压爪安装在卡槽与安装板之间，通过调节件的调节，使压爪产生形变，改变压爪在竖直方向的位置，从而使压爪能够实现上下调节的目的。降低了对压爪的加工要求，降低了成本，提高了压爪的适配能力，并且压爪在长期使用受到磨损后，经过调节可继续使用，极大地增加了压爪的使用寿命。 |
