一种柔性调节机构和夹具
基本信息
| 申请号 | CN202021539493.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213560738U | 公开（公告）日 | 2021-06-29 |
| 申请公布号 | CN213560738U | 申请公布日 | 2021-06-29 |
| 分类号 | B23K37/04（2006.01）I;B23K37/00（2006.01）I | 分类 | 机床；不包含在其他类目中的金属加工; |
| 发明人 | 陈祥 | 申请（专利权）人 | 深圳新益昌开玖自动化设备有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市世联合知识产权代理有限公司 | 代理人 | 汪琳琳 |
| 地址 | 518000广东省深圳市南山区西丽街道阳光社区沙坑路伟豪工业园3栋厂房401 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请实施例属于半导体加工设备技术领域，涉及一种柔性调节机构和夹具，包括底部支撑板、侧面支撑板和调节件；所述侧面支撑板为两个并供压爪安装，所述侧面支撑板设于所述底部支撑板两侧，所述调节件设于所述底部支撑板上，调节所述侧面支撑板在竖直方向的位置。将单一的刚性零件拆分为多个零件，对于不同型号的功率器件存在相对高度差时，通过调节件调节侧面支撑板在竖直方向的位置，以调节压爪在竖直方向的位置，从而可以对压爪对功率器件的压力大小直接进行调节，无需拆装，降低了工作量；底部支撑板和侧面支撑板之间采用柔性的连接方式，对出现数据错误或电机失步时，弹簧提供缓冲的作用，对机械零件起安全保护作用，防止功率器件变形。 |
