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微机调控激光干涉仪

基本信息

申请号	CN02104819.3	申请日	-
公开（公告）号	CN1435683A	公开（公告）日	2003-08-13
申请公布号	CN1435683A	申请公布日	2003-08-13
分类号	G01N21/45;G01N3/00	分类	测量；测试;
发明人	罗至善	申请（专利权）人	天津大学北洋科技开发公司
代理机构	-	代理人	-
地址	300072天津市南开区天津大学四季村29－5－401
法律状态	-

摘要

本发明属光机电和计算机一体化的仪器，可用于云纹干涉法、电子散斑法和电子几何云纹法正常光照下亚动态测试，体积小成本低。设置激光器1，扩束镜2，准直镜3，分光镜/反光镜4，正交光栅5，反射镜组6、7，驱动线路板8，步进和变速系统9，摄像机10以及微机11、反射镜13等。除11和13外，组装在一个封闭的多层框架12内。14为测试对象。由11驱动8、9使扩束镜2移动，实现扩束光和准直光的变换；驱动4实现光栅分光和分光镜分光的变换；驱动6、7实现测试灵敏度的小步距大范围调节，初始或载波云纹的调节；有微机处理、判断功能，用于结构强度、热应力、残余应力、焊接质量、电子封装延寿研究，层间缺陷检测，工程、生物和复合材料力学性能测试研究。