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微机调控激光干涉仪

基本信息

申请号	CN02104819.3	申请日	-
公开（公告）号	CN1258670C	公开（公告）日	2006-06-07
申请公布号	CN1258670C	申请公布日	2006-06-07
分类号	G01B9/02(2006.01);G01N21/45(2006.01);G01N3/00(2006.01)	分类	测量；测试;
发明人	罗至善	申请（专利权）人	天津大学北洋科技开发公司
代理机构	-	代理人	-
地址	300072天津市南开区天津大学四季村29－5－401
法律状态	-

摘要

微机调控激光干涉仪属光机电和计算机一体化的仪器，可用于云纹干涉法、电子散斑法和电子几何云纹法正常光照下亚动态测试，体积小成本低。设置激光器(1)，扩束镜(2)，准直镜(3)，分光镜/反光镜(4)，正交光栅(5)，反射镜组(6)、(7)，驱动线路板(8)，步进和变速系统(9)，摄像机(10)以及微机(11)、反射镜(13)等。除(11)和(13)外，组装在一个封闭的多层框架(12)内。(14)为测试对象。由(11)驱动(8)、(9)使扩束镜(2)移动，实现扩束光和准直光的变换；驱动(4)实现光栅分光和分光镜分光的变换；驱动(6)、(7)实现测试灵敏度的小步距大范围调节，初始或载波云纹的调节；有微机处理、判断功能，用于结构强度、热应力、残余应力、焊接质量、电子封装延寿研究，层间缺陷检测，工程、生物和复合材料力学性能测试研究。