自蔓延钎焊薄膜及其制备方法

基本信息

申请号 CN202111163160.4 申请日 -
公开(公告)号 CN113894460A 公开(公告)日 2022-01-07
申请公布号 CN113894460A 申请公布日 2022-01-07
分类号 B23K35/24(2006.01)I;B23K35/40(2006.01)I;C23C28/02(2006.01)I;H01L23/488(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I 分类 机床;不包含在其他类目中的金属加工;
发明人 何锦华 申请(专利权)人 江苏博睿光电股份有限公司
代理机构 北京中知法苑知识产权代理有限公司 代理人 李明;赵吉阳
地址 211103江苏省南京市江宁区秣陵街道醴泉路69号5栋
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提出一种自蔓延钎焊薄膜及其制备方法,焊料层包括依次堆叠的第一钎料层、自蔓延多层膜、第二钎料层,经自蔓延多层膜的反应将芯片与基板焊接在一起,其中,第一钎料层和/或第二钎料层的熔点低于自蔓延多层膜的瞬时反应最高温度。从而有效避免了焊接过程中工艺温度和工艺时间带来的器件损伤,为第三代半导体器件应用领域提供了一种低成本、高熔点的无铅焊料,是高温、功率及大面积电子互连的有竞争力的解决方案。