自蔓延钎焊薄膜及其制备方法
基本信息
申请号 | CN202111163160.4 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113894460A | 公开(公告)日 | 2022-01-07 |
申请公布号 | CN113894460A | 申请公布日 | 2022-01-07 |
分类号 | B23K35/24(2006.01)I;B23K35/40(2006.01)I;C23C28/02(2006.01)I;H01L23/488(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I | 分类 | 机床;不包含在其他类目中的金属加工; |
发明人 | 何锦华 | 申请(专利权)人 | 江苏博睿光电股份有限公司 |
代理机构 | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李明;赵吉阳 |
地址 | 211103江苏省南京市江宁区秣陵街道醴泉路69号5栋 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提出一种自蔓延钎焊薄膜及其制备方法,焊料层包括依次堆叠的第一钎料层、自蔓延多层膜、第二钎料层,经自蔓延多层膜的反应将芯片与基板焊接在一起,其中,第一钎料层和/或第二钎料层的熔点低于自蔓延多层膜的瞬时反应最高温度。从而有效避免了焊接过程中工艺温度和工艺时间带来的器件损伤,为第三代半导体器件应用领域提供了一种低成本、高熔点的无铅焊料,是高温、功率及大面积电子互连的有竞争力的解决方案。 |
