一种大功率溅射电源
基本信息
| 申请号 | CN202111666013.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114337302A | 公开（公告）日 | 2022-04-12 |
| 申请公布号 | CN114337302A | 申请公布日 | 2022-04-12 |
| 分类号 | H02M3/335（2006.01）I;H02M1/00（2007.01）I;H02M1/32（2007.01）I | 分类 | 发电、变电或配电; |
| 发明人 | 廖晓斌;盛建科;刘湘;罗万里;詹柏青 | 申请（专利权）人 | 株洲福德轨道交通研究院有限公司 |
| 代理机构 | 东莞创博知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 陈柏陶 |
| 地址 | 523899广东省东莞市虎门镇白沙三村工业区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种大功率溅射电源，包括依序电连接的整流电路、逆变电路、变压器、滤波电路以及控制器、存储介质，存储介质存储有程序，程序被控制器执行时实现以下步骤：实时检测输出整流滤波电路的输出电压和输出电流；以输出电压和输出电流的乘积作为输出功率，将输出功率与目标功率值的差值经PI调节器获得电压有效值；将电压有效值与输出电压的差值经PI调节器调节得到PWM调制波用以控制可控H桥逆变电路中各个开关管的通断。本发明能够实现大功率溅射电源在半导体关键工艺设备上的可靠使用。 |
