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一种ITO导电膜汇流电极及其制作方法

基本信息

申请号	CN201210270958.3	申请日	-
公开（公告）号	CN103582285A	公开（公告）日	2014-02-12
申请公布号	CN103582285A	申请公布日	2014-02-12
分类号	H05K1/02(2006.01)I;H05K3/00(2006.01)I;H01B5/14(2006.01)I	分类	其他类目不包含的电技术;
发明人	石勇	申请（专利权）人	厦门信达中天网络科技有限公司
代理机构	厦门市新华专利商标代理有限公司	代理人	厦门中天启航电子科技有限公司
地址	361000 福建省厦门市湖里区云顶中路2777号市政大厦12楼D座
法律状态	-

摘要

本发明公开一种ITO导电膜汇流电极及其制法，在ITO导电膜的表面镀金属层；在金属层上涂布感光胶；用掩膜版平铺在感光胶表面，用紫外光使感光胶固化成感光层；用显影液去除未固化的感光胶；用蚀刻液使没覆盖感光层的金属层和ITO导电膜被刻蚀留下电极形状；将ITO导电膜放入去胶液中去除固化的感光层；将ITO导电膜浸泡在抗氧化溶液中形成保护层；将柔性电路板与制作好电极形状的ITO导电膜绑定，完成汇流电极制作。本发明适应各种线宽线距，适应性强，镀金属工艺使得汇流电极与ITO导电膜可靠接触，可靠性高，还使加工工序减少，加工周期缩短，制造成本降低，金属层使得ITO导电膜加工过程中ITO划伤减少，大大提升了良品率。