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拉曼原位监控装置

基本信息

申请号	CN201520712440.X	申请日	-
公开（公告）号	CN204945048U	公开（公告）日	2016-01-06
申请公布号	CN204945048U	申请公布日	2016-01-06
分类号	G01N21/65(2006.01)I;G01N21/01(2006.01)I	分类	测量；测试;
发明人	蒋国文;胡国新;王其忻;胡强	申请（专利权）人	广东省中科宏微半导体设备有限公司
代理机构	北京集佳知识产权代理有限公司	代理人	王宝筠
地址	510670 广东省广州市高新技术产业开发区科学城开源大道11号A4首层
法律状态	-

摘要

本实用新型公开了一种拉曼原位监控装置，包括：光源系统，用于输出入射激光；设置于所述光源系统的光路上的聚光系统；设置于所述出光口的光路上的集光系统；设置于所述集光系统的光路上的色散系统；以及，设置于所述色散系统的光路上的采集系统。实时对反应室内气体和薄膜进行监控以获取相应的拉曼光谱，并通过对反应室内温度、压强等参数调节以使中间产物的拉曼光谱保持一致，进而改善薄膜的结晶质量，提高薄膜的稳定性；并且，根据薄膜内有应力下的拉曼光谱的频移和无应力下的标准拉曼光谱的频移的关系，获取应力大小，并对反应室内温度、压强等参数调节以使应力在允许范围内，以避免出现应力足够大而使得薄膜沿晶面间距较大的晶面裂开的情况。