一种锡酸镉基透明导电膜、其生产工艺及太阳能电池
基本信息
| 申请号 | CN201710427759.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109037390B | 公开（公告）日 | 2021-06-01 |
| 申请公布号 | CN109037390B | 申请公布日 | 2021-06-01 |
| 分类号 | H01L31/18（2006.01）I;H01L31/0224（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 周洁;吴历清;吴选之 | 申请（专利权）人 | 龙焱能源科技（杭州）有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 赵青朵 |
| 地址 | 310018浙江省杭州市下沙区文海北路凌云街801号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提供了一种锡酸镉基透明导电膜、其生产工艺及太阳能电池。本申请的生产工艺中先将靶材在含氧气体环境中进行磁控溅射，再复合过渡膜层，之后在保护性气氛下进行退火。按照本发明的制备方法无需进行紧贴退火方式，直接在保护气氛下退火即可，大大简化了退火工艺，能够实现工业化大规模生产。本发明还提供了一种锡酸镉基透明导电膜及包含该锡酸镉基透明导电膜的太阳能电池，相比于现有商业化TCO膜，本发明提供的锡酸镉基透明导电膜的电学和光学性能明显提高。 |
