一种红外光侦测薄膜、器件、显示装置、制备方法
基本信息
申请号 | CN201710733229.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN109427916B | 公开(公告)日 | 2021-08-17 |
申请公布号 | CN109427916B | 申请公布日 | 2021-08-17 |
分类号 | H01L31/0224;H01L31/113;H01L31/20;H01L27/144 | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 黄建东 | 申请(专利权)人 | 上海耕岩智能科技有限公司 |
代理机构 | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 吕元辉;林祥翔 |
地址 | 201800 上海市嘉定区真南路4268号2幢J2990室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供了一种红外光侦测薄膜、器件、显示装置、制备方法,相较于采用TFT漏电流作红外光敏薄膜晶体管之器件,本发明以底部栅极式场效晶体管结构将光伏栅极设置于源极和漏极间隙内,大幅增加了光电子的激发。在每一个侦测像素里,源极与源极相互并联,漏极与漏极也都相互并联,相邻的源极和漏极之间间隙配合,降低了光激发之电子与空穴再复合机率,增加了场效应作用下电极收集光电子的成功机率,最大化地改善了TFT漏电流红外光敏薄膜晶体管的光敏感度。本发明无需掺杂含硼气体即可实现,有效减少了红外光侦测薄膜生产过程中对环境的污染,降低了生产成本。 |
