蓝宝石衬底片精磨研磨液及其配制方法
基本信息
| 申请号 | CN201110097508.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102212333B | 公开（公告）日 | 2013-06-26 |
| 申请公布号 | CN102212333B | 申请公布日 | 2013-06-26 |
| 分类号 | C08J5/14(2006.01)I;C09K3/14(2006.01)I | 分类 | 有机高分子化合物；其制备或化学加工；以其为基料的组合物; |
| 发明人 | 李鹏 | 申请（专利权）人 | 浙江露笑光电有限公司 |
| 代理机构 | 杭州华鼎知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 韩洪 |
| 地址 | 311814 浙江省绍兴市诸暨店口镇露笑路38号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种蓝宝石衬底片精磨研磨液，由金刚石粉、水和悬浮液组成，金刚石粉、水和悬浮液的重量比＝1∶10∶1，所述悬浮液由分散剂、悬浮剂和防锈剂组成，分散剂、悬浮剂和防锈剂的重量比＝2∶5∶1，所述分散剂为高分子有机醇，所述悬浮剂为高分子化合物，所述防锈剂为碱。本发明由于采用了上述技术方案，所得研磨液均匀度好，利于研磨，可使加工结束后的晶片表面粗糙度大为改善，且减少了塌边的产生，大大提高加工效率，使得晶片平整度大为提高。 |
