一种蓝宝石单晶提拉装置

基本信息

申请号 CN201220568484.6 申请日 -
公开(公告)号 CN202989343U 公开(公告)日 2013-06-12
申请公布号 CN202989343U 申请公布日 2013-06-12
分类号 C30B15/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 吴明森;鲁永;刘卫兵;应江辉;张建成 申请(专利权)人 浙江露笑光电有限公司
代理机构 杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 胡根良
地址 311814 浙江省绍兴市诸暨市陶朱街道千禧路
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种蓝宝石单晶提拉装置,解决了现有提拉装置中籽晶杆轴心位置调节操作不方便、调节精度低的技术问题,本实用新型的蓝宝石单晶提拉装置包括提拉机构和驱动提拉机构升降的驱动机构,提拉机构与驱动机构之间通过提拉悬臂连接,所述提拉机构包括籽晶杆组件和调节籽晶杆组件轴心位置的调节装置,所述调节装置包括可推动籽晶杆组件沿第一方向移动的第一滑板组件、可推动籽晶杆组件沿第二方向移动的第二滑板组件、驱动第一滑板组件的第一螺钉进给组件、驱动第二滑板组件的第二螺钉进给组件。