芯片表面缺陷的检测方法、装置及计算机可读存储介质

基本信息

申请号 CN202210296614.3 申请日 -
公开(公告)号 CN114693626A 公开(公告)日 2022-07-01
申请公布号 CN114693626A 申请公布日 2022-07-01
分类号 G06T7/00(2017.01)I;G06T7/13(2017.01)I 分类 计算;推算;计数;
发明人 谢煜;何岗 申请(专利权)人 深圳市亿图视觉自动化技术有限公司
代理机构 深圳中一联合知识产权代理有限公司 代理人 -
地址 518000广东省深圳市龙岗区吉华街道水径社区吉华路399号红门工业园一期C栋403
法律状态 -

摘要

摘要 本申请适用于芯片检测技术领域,提供了一种芯片表面缺陷的检测方法、装置及计算机可读存储介质。该方法通过获取待检测芯片的多个原始图像,并确定原始图像的第一清晰度;以及确定原始图像的边缘区域,并确定边缘区域的第二清晰度;且根据第一清晰度和第二清晰度确定第三清晰度,从而从多个原始图像中确定第三清晰度较高的待处理图像,由于第三清晰度综合了第一清晰度和第二清晰度,因此第三清晰度高的待处理图像中边缘区域和原始图像均清晰。后续根据待处理图像确定的目标图像中边缘区域的裂痕也比较明显,因此对目标图像检测时容易检测到边缘区域的裂痕,防止漏检。