双通道红外窄带滤光片

基本信息

申请号 CN202022801454.2 申请日 -
公开(公告)号 CN213423510U 公开(公告)日 2021-06-11
申请公布号 CN213423510U 申请公布日 2021-06-11
分类号 G02B5/28(2006.01)I 分类 光学;
发明人 闵忠;赵政;张小卉 申请(专利权)人 上海尼赛拉传感器有限公司
代理机构 上海华祺知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 刘卫宇
地址 200434上海市虹口区汶水东路888号
法律状态 -

摘要

摘要 一种双通道红外窄带滤光片,包括硅基板,硅基板的表面上交替镀有一氧化硅膜层和锗膜层,由一氧化硅膜层和锗膜层组成的膜系的结构式为:Si|3.07L3.07H3.07L3.07H6.14L3.07H3.07L3.07H3.07L3.515H3.96L3.96H3.96L3.96H3.96L3.96H7.92L3.96H3.96L3.96H3.96L3.96H3.96L|Air。式中各符号的含义分别为:Si表示硅基板,L表示光学厚度为λ0/4的一氧化硅膜层,H表示光学厚度为λ0/4的锗膜层,λ0为设计波长,λ0=1μm,Air表示入射介质空气层,结构式中的数字为膜层的厚度系数。本实用新型能允许中心波长分别为3.07μm和3.96μm的两个通带的红外光谱通过,用这种滤光片制造的红外气体分析仪可以同时探测两种气体。