一种分子泵

基本信息

申请号 CN201720540557.3 申请日 -
公开(公告)号 CN207004861U 公开(公告)日 2018-02-13
申请公布号 CN207004861U 申请公布日 2018-02-13
分类号 F04D19/04;F04D25/06;F04D29/053;F04D29/32 分类 液体变容式机械;液体泵或弹性流体泵;
发明人 陈博昊;张智明 申请(专利权)人 四川西充农村商业银行股份有限公司
代理机构 北京华旭智信知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 四川九天真空科技股份有限公司;四川九天真空科技有限公司
地址 四川省南充市西充县多扶工业园区
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种分子泵,包括,泵体,上电机座,主轴,为镜相对称结构,上、下安全轴承,上、下安全轴承座,上、下动叶轮,上、下静叶片组,电机,包括上、下电机定子及上、下电机转子,所述上、下电机定子均具有转矩绕组和悬浮绕组,该分子泵使用了钛合金叶片,重量轻,强度高,同时带来较高的一阶模态频率,提高了分子泵的极限转速;采用了镜像对称形状的主轴及两个动叶轮、两个电机定子均为对称分布的设计,改善了主轴转动过程中的稳定性;同时在一个电机定子上集成了转矩绕组和悬浮绕组,有效缩短了主轴长度,突破了传统分子泵的极限转速限制,在高真空下据有更高的压缩比,使分子泵应用于极高真空成为可能。