一种多级差分密封的真空腔室
基本信息
| 申请号 | CN201720541589.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN207583247U | 公开（公告）日 | 2018-07-06 |
| 申请公布号 | CN207583247U | 申请公布日 | 2018-07-06 |
| 分类号 | E06B7/16 | 分类 | 一般门、窗、百叶窗或卷辊遮帘；梯子; |
| 发明人 | 陈博昊;张智明 | 申请（专利权）人 | 四川西充农村商业银行股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京华旭智信知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 四川九天真空科技股份有限公司;四川九天真空科技有限公司 |
| 地址 | 四川省南充市西充县多扶工业园区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种多级差分密封的真空腔室，包括：真空腔体、真空舱门、多个密封圈、多个环形密封圈安装槽、多个环形差抽气体导流槽、多个差抽排气孔以及用于将真空腔体与真空舱门连接起来的连接机构；其中，所述多个密封圈分别设置在所述多个环形密封圈安装槽中；所述多个差抽排气孔分别位于所述多个环形差抽气体导流槽之上；所述多个环形差抽气体导流槽分别位于所述多个环形密封圈安装槽中的两个之间，形成交替分布，或者在真空腔体与真空舱门二者闭合之后，所述多个环形差抽气体导流槽分别位于所述多个环形密封圈安装槽中的两个之间，形成交替分布。利用多密封圈密封，结合差分抽气，提高了传统真空腔室的极限真空。 |
