一种基于空间聚类的waferbin合并方法
基本信息
| 申请号 | CN202010740257.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111860676A | 公开（公告）日 | 2020-10-30 |
| 申请公布号 | CN111860676A | 申请公布日 | 2020-10-30 |
| 分类号 | G06K9/62(2006.01)I | 分类 | 计算；推算；计数; |
| 发明人 | 谢箭;赵文政;刘林平 | 申请（专利权）人 | 上海喆塔信息科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 200120上海市浦东新区自由贸易试验区祖冲之路1505弄100号3幢3层H单元 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种基于空间聚类的wafer bin合并方法，涉及半导体制造业技术领域。通过空间聚类的方式，将构成同一失效模式的不同bin自动的进行合并，与此同时，具有混合失效模式的wafer bin map也能被分解为多个单一的失效模式，本发明相较于传统的人工视检减少了主观判定，解决了按单bin分析时失效模式不完整的问题，为后续的良率根因中的共性分析提供了坚实的数据基础。 |
