一种基于卷积分类网络的晶圆图失效模式相似检索的方法
基本信息
| 申请号 | CN202010738584.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111858990A | 公开（公告）日 | 2020-10-30 |
| 申请公布号 | CN111858990A | 申请公布日 | 2020-10-30 |
| 分类号 | G06F16/55(2019.01)I | 分类 | 计算；推算；计数; |
| 发明人 | 谢箭;赵文政;刘林平 | 申请（专利权）人 | 上海喆塔信息科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 200120上海市浦东新区自由贸易试验区祖冲之路1505弄100号3幢3层H单元 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种基于卷积分类网络的晶圆图失效模式相似检索的方法，涉及半导体制造业技术领域。本发明针对晶圆失效模式的图像特征，构建了一种兼顾语义特征及局部细节特征的卷积分类网络，通过分类伪任务来提取图像特征，由于图像特征是高维的向量，采用传统的相似度量方法并不能在大规模的数据集相似检索中实用，为此，本发明对图像的卷积特征做了进一步的二值量化编码，采用局部敏感哈希算法，将高维向量压缩为低维向量，相似样本以较大概率分到同一分区桶中，减少检索池数据规模，因而大幅度的降低了相似检索的计算复杂度，相较于人工视检的方式搜索晶圆相似的失效模式，本发明是一种高效准确的自动化相似检索分析方法。 |
