一种用于表面处理机硅烷系统的自动切换添加装置
基本信息
| 申请号 | CN202023144448.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213925017U | 公开（公告）日 | 2021-08-10 |
| 申请公布号 | CN213925017U | 申请公布日 | 2021-08-10 |
| 分类号 | C23C22/77;C25D1/04 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 刘吉扬;林富城;孟基中;李天煜;陈亮;刘斯丹 | 申请（专利权）人 | 广东超华科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 广州海心联合专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 罗振国 |
| 地址 | 514000 广东省梅州市梅县区宪梓南路19号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于表面处理机硅烷系统的自动切换添加装置；属于5G设备技术领域；其技术要点包括用于表面处理的硅烷槽，硅烷槽分别导通连接有第一、第二进液管和第一、第二出液管；在硅烷槽侧边的第一进液管、第二进液管、第一出液管和第二出液管上分别设置有电磁阀；各电磁阀分别与控制终端连接；在第一出液管和第一进液管自由端之间导通连接有第一硅烷添加单元，在第二出液管和第二进液管自由端之间导通连接有第二硅烷添加单元；所述第一硅烷添加单元和第二硅烷添加单元分别连接有清洗回流单元；本实用新型旨在提供一种结构合理、使用方便且效果良好的用于表面处理机硅烷系统的自动切换添加装置；用于表面处理机硅烷系统。 |
