一种获得二氧化钛薄膜的方法

基本信息

申请号 CN200410051147.X 申请日 -
公开(公告)号 CN1587152A 公开(公告)日 2005-03-02
申请公布号 CN1587152A 申请公布日 2005-03-02
分类号 C03C17/27;C04B41/85 分类 玻璃;矿棉或渣棉;
发明人 闻航;黄琼霖;黄荣芳;余瑜 申请(专利权)人 深圳市梅雁微纳科技有限责任公司
代理机构 - 代理人 -
地址 518000广东省深圳市宝安西乡桃花源科技创新园
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种获得二氧化钛薄膜的方法,其特征在于先在玻璃或瓷砖表面通过磁控溅射镀膜机沉积一层钛膜,然后将表面沉积了一层钛膜的玻璃或瓷砖,放置于加热炉中,使玻璃或瓷砖表面的钛膜氧化成二氧化钛膜。获得的二氧化钛薄膜牢固地附着在玻璃或瓷砖基底上,而且获得均匀性好的膜层,本发明工艺重复性好,质量控制易,适宜进行工业批量生产。