一种获得二氧化钛薄膜的方法
基本信息
申请号 | CN200410051147.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN1587152A | 公开(公告)日 | 2005-03-02 |
申请公布号 | CN1587152A | 申请公布日 | 2005-03-02 |
分类号 | C03C17/27;C04B41/85 | 分类 | 玻璃;矿棉或渣棉; |
发明人 | 闻航;黄琼霖;黄荣芳;余瑜 | 申请(专利权)人 | 深圳市梅雁微纳科技有限责任公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 518000广东省深圳市宝安西乡桃花源科技创新园 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供一种获得二氧化钛薄膜的方法,其特征在于先在玻璃或瓷砖表面通过磁控溅射镀膜机沉积一层钛膜,然后将表面沉积了一层钛膜的玻璃或瓷砖,放置于加热炉中,使玻璃或瓷砖表面的钛膜氧化成二氧化钛膜。获得的二氧化钛薄膜牢固地附着在玻璃或瓷砖基底上,而且获得均匀性好的膜层,本发明工艺重复性好,质量控制易,适宜进行工业批量生产。 |
