用于清洗切割后的晶棒的超声清洗设备
基本信息
| 申请号 | CN202023069333.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214441346U | 公开（公告）日 | 2021-10-22 |
| 申请公布号 | CN214441346U | 申请公布日 | 2021-10-22 |
| 分类号 | B08B3/04;B08B3/10;B08B3/12;B08B13/00 | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 吴镐硕;朴灵绪 | 申请（专利权）人 | 苏州恩腾半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 余明伟 |
| 地址 | 215024 江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区02栋703室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种用于清洗切割后的晶棒的超声清洗设备，包括依次相邻的第一超声清洗槽、第二超声清洗槽及纯水清洗槽；第一超声清洗槽包括第一槽体、第一超声波振动板及第一超声波发生器；第二超声清洗槽包括第二槽体、第二超声波振动板及第二超声波发生器，第一槽体和第二槽体上均设置有支撑架且第一槽体和第二槽体上均设置有进水口和排水口；纯水清洗槽包括第三槽体，第三槽体上设置有进水口；清洗作业过程中，晶棒在不同槽体内均被纯水完全浸没，并依次经第一超声清洗槽和第二超声清洗槽的超声清洗及纯水清洗槽的溢流清洗。采用本实用新型的超声清洗设备，可以无需使用界面活性剂等化学品，可以有效降低清洗成本和减少对环境的污染。 |
