具有改善金属污染功能的湿法刻蚀设备
基本信息
| 申请号 | CN202120411904.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214226880U | 公开（公告）日 | 2021-09-17 |
| 申请公布号 | CN214226880U | 申请公布日 | 2021-09-17 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 吴镐硕;朴灵绪 | 申请（专利权）人 | 苏州恩腾半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 余明伟 |
| 地址 | 215024江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区02栋703室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种具有改善金属污染功能的湿法刻蚀设备，包括：腐蚀槽，其内部具有承载腐蚀液及待清洗件的空间；螯合剂供给单元，其包括螯合剂源；定量供给单元，其包括具有输入端和输出端的定量供给槽；所述输入端连接所述螯合剂供给单元，所述输出端连接所述腐蚀槽，所述定量供给槽将所述输入端流入的螯合剂从所述输出端处定量供给至所述腐蚀槽。本实用新型经改善的结构设计，提供螯合剂以去除碱溶液中的污染金属离子，通过定量供给单元确保对腐蚀槽定量供给螯合剂，大幅降低了腐蚀工艺对于碱溶液的高纯度要求，降低了生产成本，提升了产品良率。 |
