湿法清洗设备
基本信息
| 申请号 | CN202120138079.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214099596U | 公开（公告）日 | 2021-08-31 |
| 申请公布号 | CN214099596U | 申请公布日 | 2021-08-31 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 吴镐硕;朴灵绪 | 申请（专利权）人 | 苏州恩腾半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 余明伟 |
| 地址 | 215024江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区02栋703室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种湿法清洗设备，所述湿法清洗设备包括去离子水清洗槽及过滤装置，所述过滤装置通过液体管路连接于去离子水供应源及所述去离子水清洗槽之间，用于将所述去离子水供应源供应的去离子水经过滤后输送至所述去离子水清洗槽。本实用新型的湿法清洗设备经改善的结构设计，在去离子水输送至清洗槽的液体管路上设置过滤装置以有效过滤去离子水中的金属颗粒等杂质，有助于提高湿法清洗品质。在进一步的示例中还设置两套过滤单元，一套在用一套备用，有利于提高设备的稳定性和设备产出率。 |
