批次型湿法刻蚀设备
基本信息
| 申请号 | CN202120138106.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213988841U | 公开（公告）日 | 2021-08-17 |
| 申请公布号 | CN213988841U | 申请公布日 | 2021-08-17 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 吴镐硕;朴灵绪 | 申请（专利权）人 | 苏州恩腾半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 余明伟 |
| 地址 | 215024江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区02栋703室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种批次型湿法刻蚀设备，包括槽体、供液管路、惰性气体管路、支架及轴承；供液管路一端与刻蚀液源相连通，另一端与槽体相连通；惰性气体管路位于槽体内且位于槽体下部，与惰性气体源相连通，惰性气体管路上设置有进气孔，以向刻蚀液内供应惰性气体，使刻蚀液向上鼓泡；支架位于槽体外，轴承固定于支架上，且惰性气体管路与轴承相连接；当驱动轴承旋转时，轴承带动惰性气体管路移动以改变惰性气体管路的位置。本实用新型在无需设备停机的情况下，工作人员无需进入槽体内，在槽体外部即可对槽体内的惰性气体管路的位置进行调整，以通过改善惰性气体的分布调整刻蚀液分布，提高刻蚀均匀性及设备产出率以及提高职业环境安全性。 |
