一种半导体晶体炉保温层修复用耐高温水泥
基本信息
申请号 | CN201711204639.1 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN107963896A | 公开(公告)日 | 2018-04-27 |
申请公布号 | CN107963896A | 申请公布日 | 2018-04-27 |
分类号 | C04B35/66 | 分类 | 水泥;混凝土;人造石;陶瓷;耐火材料〔4〕; |
发明人 | 守建川;易德福 | 申请(专利权)人 | 江西德义半导体科技有限公司 |
代理机构 | 苏州国诚专利代理有限公司 | 代理人 | 江西德义半导体科技有限公司 |
地址 | 344000 江西省抚州市金柅大道198号创业园A7栋3楼 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供了一种半导体晶体炉保温层修复用耐高温水泥,以重量份计,该耐高温水泥包括如下原料组分:碳酸钙30‑80份,氧化铝5‑10份,氧化钠10‑20份,氧化钙5‑15份,氧化镁5‑10份,氧化铜5‑15份,氧化锆5‑10份,氧化钛5‑10份,氧化镍10‑20份,炭化硅10‑30份,硅粉10‑20份,二氧化硅10‑40份,氧化硼5‑10份,氧化钆5‑20份,钛酸钾晶须5‑10份,聚乙二醇20‑40份,有机硅偶联化合物10‑30份,环氧树脂5‑10份,水40‑90份。本发明的半导体晶体炉保温层修复用耐高温水泥,具有强粘结性、耐高温以及耐腐蚀的特性,适用于半导体晶体高温生长炉修补,并且制备这种高温水泥的方法操作简便,成本低廉,绿色环保。 |
