一种对砷化镓多晶合成炉温场的测量方法
基本信息
| 申请号 | CN202010529543.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111519246A | 公开（公告）日 | 2020-08-11 |
| 申请公布号 | CN111519246A | 申请公布日 | 2020-08-11 |
| 分类号 | C30B28/00(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 易德福 | 申请（专利权）人 | 江西德义半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州国诚专利代理有限公司 | 代理人 | 江西德义半导体科技有限公司 |
| 地址 | 344000江西省抚州市金柅大道198号创业园A7栋3楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种对砷化镓多晶合成炉温场的测量方法，其节省了测温材料，且测温方便快捷，节约了操作时间、降低了操作难度。其在炉体的侧壁上沿着其石英管的排布方向顺次布置若干个测量孔，每个测量孔分别连通所述炉体的内腔，之后将测温传感器的测温端插装于对应的测量孔内置于炉体的对应内腔的位置。 |
