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一种抛光设备空气颗粒尘埃的抽排装置

基本信息

申请号 CN202021068930.8 申请日 -
公开（公告）号 CN213592637U 公开（公告）日 2021-07-02
申请公布号 CN213592637U 申请公布日 2021-07-02
分类号 B24B55/06（2006.01）I;B24B29/00（2006.01）I 分类 磨削；抛光;
发明人 易德福 申请（专利权）人 江西德义半导体科技有限公司
代理机构 苏州国诚专利代理有限公司 代理人 杜丹盛
地址 344000江西省抚州市金柅大道198号创业园A7栋3楼
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种抛光设备空气颗粒尘埃的抽排装置，其确保将空气颗粒尘埃抽排出抛光机时、对抛光盘的划伤率低，提高沉底晶片抛光良品率。其包括抛光设备底座，所述抛光设备底座上布置有定盘转盘，所述定盘转盘上放置有陶瓷盘晶片载体，所述抛光设备底座通过上凸的弧板连接上部安装架，所述上部安装架上设置有若干个下露的抛光转盘，所述抛光转盘用于陶瓷盘晶片载体上的晶片的抛光，所述弧板上开设有至少一个抽排风口，每个所述抽排风口通过抽风管外接抽风动力装置，封闭原有的垂直抽排口。