砷化镓抛光液自动循环过滤方法及其对应的过滤装置
基本信息
| 申请号 | CN202010529604.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111544946A | 公开（公告）日 | 2020-08-18 |
| 申请公布号 | CN111544946A | 申请公布日 | 2020-08-18 |
| 分类号 | B01D35/00(2006.01)I;B01D35/14(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 易德福 | 申请（专利权）人 | 江西德义半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州国诚专利代理有限公司 | 代理人 | 江西德义半导体科技有限公司 |
| 地址 | 344000江西省抚州市金柅大道198号创业园A7栋3楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了砷化镓抛光液自动循环过滤方法，其使得抛光药液通过自循环过滤，从而解决抛光过程中抛光液中的颗粒划伤晶片问题。抛光药液在抛光设备使用前，在供药管道进入设备后安装抛光药液自循环装置，将管道中结晶颗粒机静态滤芯反向端的结晶进行再次过滤，将静态的药液改变为动态实时过滤，避免析出颗粒结晶使得药液中颗粒增加。 |
