光刻胶组合物、用它形成光刻图案的方法及其用途
基本信息
| 申请号 | CN202010811408.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111948904A | 公开（公告）日 | 2020-11-17 |
| 申请公布号 | CN111948904A | 申请公布日 | 2020-11-17 |
| 分类号 | G03F7/004;G03F7/027;G03F7/00 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 徐宏;何向明;王倩倩 | 申请（专利权）人 | 北京华睿新能动力科技发展有限公司 |
| 代理机构 | 北京华进京联知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王勤思 |
| 地址 | 213100 江苏省常州市常州西太湖科技产业园祥云路6号3号楼1楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种光刻胶组合物，包括：金属氧化物纳米簇，所述金属氧化物纳米簇包括金属氧化物内核和与所述金属氧化物内核配位的有机配体，其分子通式为MxOy（OH）mLn，M为金属元素，L为所述有机配体，且为含有双键的有机基团，4≤x≤8，2≤y≤8，0≤m≤4，12≤n≤16；光产酸剂；自由基淬灭剂；以及溶剂。本发明进一步涉及用所述光刻胶组合物形成光刻图案的方法和光刻胶组合物的用途。 |
