光刻胶及亚胺类材料的图案化方法
基本信息
| 申请号 | CN202010815574.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111880371A | 公开（公告）日 | 2020-11-03 |
| 申请公布号 | CN111880371A | 申请公布日 | 2020-11-03 |
| 分类号 | G03F7/004;G03F7/00 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 徐宏;何向明;王倩倩 | 申请（专利权）人 | 北京华睿新能动力科技发展有限公司 |
| 代理机构 | 北京华进京联知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王勤思 |
| 地址 | 214142 江苏省无锡市新吴区菱湖大道200-11号中国传感网国际创新园E2-503 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种光刻胶，包括：氨基化合物、醛基化合物、产酸剂和溶剂，所述产酸剂能够在紫外光下分解形成光酸催化剂，所述光酸催化剂能够催化所述氨基化合物和所述醛基化合物发生缩合反应形成亚胺类聚合物；所述氨基化合物在所述光刻胶中的质量百分数为0.4％～30％，所述醛基化合物在所述光刻胶中的质量百分数为0.5％～30％，所述产酸剂在所述光刻胶中的质量百分数为0.01％～8％。本发明还公开了一种亚胺类光刻胶材料的图案化方法。 |
