光刻胶、光刻胶的图案化方法及生成印刷电路板的方法
基本信息
| 申请号 | CN202011428100.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112462572A | 公开（公告）日 | 2021-03-09 |
| 申请公布号 | CN112462572A | 申请公布日 | 2021-03-09 |
| 分类号 | G03F7/004(2006.01)I;G03F1/76(2012.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 徐宏;何向明;王晓琳 | 申请（专利权）人 | 北京华睿新能动力科技发展有限公司 |
| 代理机构 | 北京华进京联知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王勤思 |
| 地址 | 100084北京市海淀区清华园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种光刻胶，包括有机溶剂和钛锆氧化物纳米粒子，所述钛锆氧化物纳米粒子，所述钛锆氧化物纳米粒子的分子通式为TixZryOzLn,其中，x、y、z分别独立地选自1～6中的任意整数，n选自5～30中的任意整数，L为有机物配体，所述有机物配体具有可自由基引发聚合的基团。本发明还公开了一种光刻胶的图案化方法。本发明还公开了一种印刷电路板的方法。 |
