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锆氧化物纳米粒子及其制备方法、光刻胶组合物及其应用

基本信息

申请号 CN202110862938.4 申请日 -
公开（公告）号 CN113651357A 公开（公告）日 2021-11-16
申请公布号 CN113651357A 申请公布日 2021-11-16
分类号 C01G25/02（2006.01）I;B82Y40/00（2011.01）I;G03F7/004（2006.01）I 分类 无机化学;
发明人 何向明;徐宏;盛丽;王莉 申请（专利权）人 北京华睿新能动力科技发展有限公司
代理机构 北京华进京联知识产权代理有限公司 代理人 王赛
地址 100084北京市海淀区清华园
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种锆氧化物纳米粒子及其制备方法、光刻胶组合物及其应用。该锆氧化物纳米粒子的制备方法包括如下步骤：提供或制备锆盐溶液，所述锆盐溶液包括第一溶剂和分散于所述第一溶剂中的锆盐；将配体加入所述锆盐溶液中，混合均匀，以制备含锆反应体系；加热所述含锆反应体系，控制加热温度为40℃～100℃，使所述含锆反应体系中生成锆氧化物；停止加热，并静置至析出固体组分。该锆氧化物纳米粒子的制备方法能够显著降低锆氧化物纳米粒子的粒径并提高粒径分布的均匀程度，进而能够有效提高作为光刻胶时显影后图案的分辨率。