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基于交变电场的反射型绝对式时栅角位移传感器

基本信息

申请号 CN201810729737.5 申请日 -
公开（公告）号 CN109211096B 公开（公告）日 2019-06-25
申请公布号 CN109211096B 申请公布日 2019-06-25
分类号 G01B7/30 分类 测量；测试;
发明人 刘小康;于治成;黄沛;王合文;汤其富 申请（专利权）人 通用技术集团国测时栅科技有限公司
代理机构 重庆华科专利事务所 代理人 康海燕;唐锡娇
地址 400054 重庆市巴南区李家沱红光大道69号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种基于交变电场的反射型绝对式时栅角位移传感器，包括转子基体和定子基体，转子基体下表面设有反射电极、感应电极Ⅰ和感应电极Ⅱ，感应电极Ⅰ、Ⅱ分别与反射电极相连；定子基体上表面设有接收电极、激励电极Ⅰ和激励电极Ⅱ，首先对激励电极Ⅱ的四个激励相分别施加四路激励信号，此时激励电极Ⅰ不工作，在接收电极上输出第一路差动或者粗测正弦行波信号并存储，然后将四路激励信号切换到激励电极Ⅰ的四个激励相，此时激励电极Ⅱ不工作，在接收电极上输出第二路差动或者精测正弦行波信号，经相关处理后得到绝对角位移值。该传感器以相对简单的分时复用结构便能实现高精度绝对角位移测量，转子无需引线，工业适应性更强。