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一种从单晶硅、多晶硅炉放空尾气中回收制备超纯氩的装置和方法

基本信息

申请号 CN201911411877.9 申请日 -
公开（公告）号 CN113120873A 公开（公告）日 2021-07-16
申请公布号 CN113120873A 申请公布日 2021-07-16
分类号 C01B23/00（2006.01）I 分类 无机化学;
发明人 邱浩铭;乐韵;赵霖;于洋;丛维军;金万宇;刘智超;邱长春 申请（专利权）人 大连中鼎化学有限公司
代理机构 大连智高专利事务所（特殊普通合伙） 代理人 李楠
地址 116039辽宁省大连市甘井子区辛艺街18号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种从单晶硅、多晶硅炉放空尾气中回收制备超纯氩的装置和方法，属于气体生产与应用领域。主要技术方案如下：一种从单晶硅、多晶硅炉放空尾气中回收制备超纯氩的装置，包括依次通过管路串连的前置缓冲罐、压缩机、尾气预处理系统和低温再沸液化氩气系统；所述的尾气预处理系统包括催化塔、热交换器、吸附干燥塔；所述的催化塔包括第一催化塔和第二催化塔，所述的第一催化塔连接第一热交换器，所述的第二催化塔连接第二热交换器；本发明可根据产品的纯度要求灵活调节。该方法特别适用于用氩气做保护气的工业炉放空废气中回收氩气，具有十分良好的经济效益和环保效益。